欢迎来到永乐国际乐在其中! 咨询热线 :  15178696523

新闻信息 news

高纯燃气管道分配参考

全高纯度、高度清洁气体 需要通过管道输送到设备点(POU),以满足气体有工艺的质量要求,在天然气出口指数固定的情况下,管道系统的选材和施工质量是十分必要的。但这取决于气体或净化设备的准确性,它在很大程度上受到管道系统诸多因素的影响,类似此,管道的选择应遵循相关的行业原则,并在图纸中标明管子的材料 。

    管道的材料是根据所使用的要求选择的,类似果采用该工艺中的反应气体,则选择高品位气体 316L EP管,电解抛光(Electro-Polish)有,耐腐蚀,低表面粗糙度,Rmax(maximum peak to valleyheight)关于 0.3μm下,其值远低于光亮烧结的值(Bright Anneal)有好316L BA金属管 0.8μm,平滑度越高,形成微涡的可能性就越小,把被污染的微粒带出来。316L BA管常用于与芯片接触但不涉及工艺反应气体 中,类似GN2、CDA。管道表面粗糙度是衡量管道质量的标准。粗糙度越低,携带颗粒的可能性大大降低。另1个没有特殊待遇AP管(Annealing & Picking),它用于不用作供气管道的两套外管。

目前,国内对清洁管道的参考标准较少,通常,除了参考,《清洁厂房设计规范》《氢站设计规范》《氢氧站设计规范》《压缩空气设计规范》除有关技术行业的技术规格外,在行业中,永乐国际乐在其中通常选用的材料和管道1般参照国际行业标准:

    半导体行业的线宽越来越小,它对气体的纯度、颗粒尺寸、杂质含量、对露点的要求越来越高。表1这是每条线宽下对超纯氮的要求.

高纯燃气管道分配参考 高纯燃气管道分配参考


高纯氮(PN2):对系统管道进行内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,螺孔由同1材料 的波纹管或隔膜阀组成。
 
氮(N2):对系统管道进行内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,螺孔由波纹管或同1材料的球阀制成。 

高纯氢(PH2)氢(H2):对系统管道进行内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,螺孔由同1材料 的波纹管或隔膜阀组成。氩气(Ar):对系统管道进行内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,螺孔由同1材料 的波纹管或隔膜阀组成。 
氦(He):对系统管道进行内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)螺孔由同1材料 的波纹管或隔膜阀组成。 
特种煤气系统:类似有必要,应制造双套管:外管酸洗钝化(AP)有,内胎电解抛光(EP),螺孔由同1材料 的波纹管或隔膜阀组成。

压缩空气(CDA):系统管线的光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,该螺孔的材料与球阀相同(低要求的永乐国际乐在其中也可以使用铜管,取决于流程的要求) 
    对于特殊气体,,有很多种气体,有许多有毒和有害气体 ,原来是1台装有气柜的机器,高成本的设备组合和维护大大增加了投资成本,仍然 1些还安排在加工室里,有泄漏的潜在危险。目前,集中供气系统得到了广泛的应用,储气罐浓度,自动控制系统的不断改进,它的警报、飞沫 、切断、吹气更成熟,特殊的空气也被隔离在这个过程中,对房间有防爆要求,工作安全性大大提高。  

    腐蚀、毒性、可燃气体,汽缸通常被设计成放置在气缸柜里(Gas Cabinet)内,然后通过管道将气体供应到靠近现场的螺孔箱(VMB, Valve Manifold Box),然后输入加工机器的使用点(POU, Point of Use),在进入机器的空腔之前,,将有1个单独气体 控制面板(GB, Gas Box)在线与过程控制模块,质量流量控制器(MFC, Mass Flow Controller)进气流量和混合比例的控制,通常,这种气体控制面板不属于工厂服务系统的设计范畴,这是属于加工机器的设备的1部分。1般惯性气体是开式气缸架(Gas Rack)阀盘(VMP, Valve Manifold Panel)供应量 。


超净不锈钢管、管件、螺孔的定义
使用:不锈钢清洁度管是半导体工业中用于输送高纯度或超纯洁净气体的管道,清洁管道在生物制药工业中的应用(各种水)。
表面有方式:
RA 价值比较(Roughness Average,平均粗糙度)$ c6 i+ ]# {: Q/ ~- u1 g1 A! s8 O
材料         表面有方式       内表面平均粗糙度(um)
316L       AP                 RA〈=1.0
316L       BA                 RA〈=0.8# E4 T.L+ R: ?( R
316L       EP                 RA〈=0.13-0.2

纯气配气技术是高纯供气系统的重要组成部分,将高纯度气体输送到气体点,使其质量达到标准是关键技术;所谓的高纯配气技术包括了系统的正确设计、配件及附件的选择、建造、安装及测试等。近年来,以大规模集成电路为代表的微电子产品的生产对高纯气体的纯度和杂质含量提出了越来越严格的要求,高纯气体管道技术越来越受到人们的重视。下是从选材到施工验收的高纯度气体输送、浅谈日常管理。


常见气体类型 
电子工业中常见气体的分类: 
普通气体,也称为散装气体 (Bulk gas ):氢(H2)、氮(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等

特殊气体(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等 
特殊气体的种类1般可分为腐蚀 、毒性、易燃性、燃烧性能、惯性等,半导体气体的1般分类类似下: 
(1)、腐蚀  / 毒性:HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等
(二)、易燃性:H2、 CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等 

(三)、燃烧性能:O2、Cl2、N2O、NF3…等 
(四)、不活动 :N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等

许多半导体气体对人体有害。特别是,其中1些气体,类似SiH4自燃,只要有泄漏,它就会与空气中的氧气发生剧烈的反应,轻;仍然 AsH3超毒性,任何轻微的泄漏都会对人们的生命造成伤害,因为这些明显的危险,类似此,对系统设计的安全性要求特别高。    

高纯燃气管道分配参考


气体的适用范围     
    天然气产品是现代工业重要的基础原料,适用范围很广,冶金学、铁、石油、化学工业、发动机、电子、玻璃、陶瓷、建筑材料、建造、食品加工、医疗部门,使用大量的普通或特殊气体。气体应用,特别是,它对这些领域的高新技术产生了重要影响,它是不可缺少的原料气体还是加工气体?。只有各种新兴工业部门和现代科学技术需要和促进,只有天然气工业中的产品才能用于各种产品、它在质量和数量上都有了突飞猛进的发展。 


微电子中气体 、半导体工业的应用

气体的使用在半导体工艺中1直起着重要的作用,特别是半导体工艺在各个行业中得到了广泛的应用,传统的ULSI、TFT-LCD到目前为止,微机电(MEMS)工业,他们都把所谓的半导体工艺作为产品的制造过程.,该工艺包括干蚀刻等、氧化、离子注入、有相当多气体 用于薄膜沉积等,另1方面,气体的纯度会影响装配的性能、产品的产量有决定性的影响,供气安全关系到人员的健康和工厂的安全运行。


高纯管道在高纯天然气输送中的意义

不锈钢熔炼过程中,每T可以吸收200g气体 。不锈钢成品加工,它不仅表面有各种各样的污染物,它在金属晶格中吸收1定量气体 。当空气流过管道时,被金属吸收的这1部分气体会重新进入气流,污染纯气。当管内的空气流动是离散的,地层压力下管道对气体的吸附,当气流停止流过时,管道吸附气体形成的减压分析,被分析气体 也以杂质的形式进入管道中的纯气体。全部,吸附、分析1遍又1遍,这样,金属在管道内表面也会产生1定量的粉末,这种金属尘埃颗粒也污染了管道中的纯气体。管道的这1特性是非常重要的,为了保证输送气体 的纯度,管道的内表面不仅需要很高的平滑度,然后,它应该有很高的耐磨性。 
    当气体具有强腐蚀 能时,必须选用耐腐蚀的不锈钢管作为管道,类似,由于腐蚀,管道内表面会出现腐蚀点,在严重的情况下,大块金属会被剥落,甚至被刺穿,为了污染纯气体的传输和分布。

高纯大流量、高清洁输配管道的连接,原则上,它们都是焊接的,所需管道,焊接过程中显微组织不发生变化。焊接过程中含碳量过高的材料,焊接部位透气性,使管道内外气体 相互渗透,破坏输送气体的纯度、干燥和清洁,使永乐国际乐在其中所有的努力失去意义。

要而论之,用于高纯度气体和特殊气体管道,采用1种特殊有的高纯不锈钢管是必要的,制造高纯度管道系统(含管、管件、螺孔、VMB、VMP)在高纯度气体的分布中起着至关重要的作用。 


输配电管道清洗技术的1般概念 
    高纯、洁净气体输送与分配管道,指气体的输送“三度”有1定的要求或控制。

气体纯度:气体中杂质气氛的含量,通常以气体纯度的百分比给出,类似99.9999%,此外,还采用了杂质气氛含量的体积比ppm 、ppb、 ppt给出。

干燥 :气体中微量水分的含量,或者湿气,通常以露点给出,压力露点照常-70℃。

清洁:气体中含有污染物的颗粒的数量,颗粒大小是μm颗粒,多少粒/M3 代表,用于压缩空气,固体残留物的不可避免数量也是多少?mg/m3代表,它涵盖了含油量。   
污染物粒度分级:污染物颗粒,主要指管道冲刷、磨损、腐蚀产生的金属颗粒、大气烟尘颗粒,仍然 微生物、由湿气等凝结而成的噬菌体和水滴,根据其粒径大小将其分为两类: 
a)大颗粒—颗粒尺寸在5μm上 
b)颗粒—材料的直径在0.1μm-5μm之间" } 
c)超细颗粒—粒径小于0.1μm。